輕負(fù)荷維氏硬度試驗(yàn)原理與維氏硬度計(jì)試驗(yàn)法完全相同，壓頭也是136°的金剛石角錐（有的也帶有172°30′的克努普壓頭），只是試驗(yàn)機(jī)機(jī)構(gòu)與一般維氏試驗(yàn)機(jī)不同。輕負(fù)荷維氏硬度試驗(yàn)多采用直接加荷，并帶有放大倍數(shù)較的光學(xué)觀(guān)察和測(cè)量機(jī)構(gòu)。這是因?yàn)樨?fù)荷較輕，壓痕較小，利用光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)可獲得精度的測(cè)量結(jié)果；同時(shí)在選取測(cè)量部位時(shí)因?yàn)橛酗@微觀(guān)察裝置可進(jìn)行準(zhǔn)確的控制。

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